事業案内

流量計事業部

面積流量計 P880シリーズ

P-880は超微小流量の計測を可能とした気体計測用面積流量計です。

  • 超微小流量計測
    0.15~1.5mL/min(nor)の超微小流量から350~3500mL/min(nor)の流量まで計測が可能です。
  • 流量調整が容易
    精密な流量制御が可能です。流量計の入口側圧力および出口側圧力をご指示いただければ、最適なバルブを選定いたします。
  • 豊富な面間寸法
    流量計の取り合い寸法(面間寸法)を115・130・145mmに設定、用途に応じて選択できます。
  • コンパクト・軽量設計
    従来品と比較して、幅寸法が3mm小さくなり、製品重量が約半分になりました。
  • 主な用途
    機器組込み・バイオ産業・半導体関連ガス機器

 

風速測定システム RF2000

RF2000はエンジンラジエータへの風速を計測するシステムです。

  • 小型・軽量・薄型センサ
    厚さ10mmの薄型センサはラジエータとコンデンサの間に取り付けることが可能です。
  • 測定指向性
    空気通過方向と平行した軸を持つプロペラで流速を測定しますので、熱線式や圧力式などにみられる他方向からの流入空気の影響がほぼありません。ラジエータへの垂直成分を的確にとらえます。
  • 低圧損
    プロペラによる圧力損失は、ラジエータの圧力損失と比較すると非常に小さく、約0.1kPa(20m/s測定時)程度です。
  • 電気ケーブル接続
    プロペラセンサと変換器間は電気ケーブルで接続しているため、曲げやねじれ、低温に強く、従来のガラス光ファイバケーブルよりも扱いが容易です。
  • 多チャンネルの風速測定
    従来品8chに対して、RR5000Dは1台で16chの測定が可能です。
  • RS-485通信機能
    変換器を最大4台(64ch分)のデータを同時に収集でき、パソコンから変換器の設定変更も可能です。
  • CAN通信機能
    変換器を最大4台(64ch分)のデータを同時に収集できます。通信データはDBCファイルにより風速値に変換します。

 

ミ二ホイールメータ W-800

W-800は液体用羽根車流量計です。

  • 測定信頼性の向上
    各種液体の流量を流路においた羽根車の回転数により測定します。回転数の検出にはオプティカルセンシング方式を採用して、信頼性を大幅に向上しました。
  • クリーン構造
    接液部はフッ素樹脂系(軸のみ石英ガラスまたはサファイヤ)で構成され、計測液体中への金属イオン融出の心配がありません。
  • 設置が容易
    プロセスへの接続はチューブ継手を標準として、シール性をより向上しました。
  • 主な用途
    半導体製造プロセスにおける純水、超純水または各種薬液の流量測定に最適です。

 

※製品につきましては、予告なく仕様などが変更になる場合もございますが、予めご了承ください。

 

チャーター事業部